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環(huán)境監(jiān)測設備

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超小型粒子計數(shù)器

更新時間： 2020-06-18
產品型號： 3950
簡單描述
3950超小型粒子計數(shù)器致輕、致小，完美實現(xiàn)了嵌入組裝在半導體制造等裝置中，2.83L/min，同時測試0.1、0.3μm微小粒子

詳細介紹

日本加野3950超小型粒子計數(shù)器
* 顛覆性的技術革新，致輕、致小，完美實現(xiàn)了嵌入組裝在半導體制造等裝置中
* 2.83L/min，同時測試0.1、0.3μm微小粒子
* 4.3英寸彩色觸摸屏顯示屏
* 可使用附帶軟件在PC上顯示測試數(shù)據(jù)
* 設有RS-485、Ethernet、USB通訊接口

3950加野麥克斯超小型粒子計數(shù)器的技術規(guī)格

品名		塵埃粒子計數(shù)器
型號		3950
粒子測量	測試方法	光散射法
	粒徑通道	2粒徑（0.1、0.3μm）
	額定流量	0.1CFM（2.83L/分）、精度±5%、（符合JIS B9921和ISO21501-4)
	測量時間	6秒~99分59秒（1次測量時間）
	間隔時間	6秒~99分59秒（測量周期）
	采樣次數(shù)	1~999次或連續(xù)測試
	地點設定	99個地點
	測量方式	重復、單次、連續(xù)、計算、ISO , GB*（共6種模式）
	測量數(shù)據(jù)顯示時間	1~10秒
	測量數(shù)據(jù)顯示	累計值∑ 差分值△及柱形圖
	max可測濃度	10,000,000個/m³
	計數(shù)效率	50±20%（相對于小可測粒徑附近的PSL粒子） 100±10%（相對于小可測粒徑的1.5倍~2倍的PSL粒子）（符合JIS B9921 和 ISO21501-4）
	偽計數(shù)	<1個/35min
	粒徑分辨率	15%以下（相對0.3μm的PSL粒子）（符合JIS B9921 和 ISO21501-4）
	氣源	內置泵
顯示器		4.3英寸彩色液晶觸摸屏
通迅功能	本體	USB（Host用于打印機、USB存儲；Device用于與PC鏈接） Ethernet、RS485（9600、19200、38400 baud）
數(shù)據(jù)存儲	媒體	內存
數(shù)據(jù)存儲	數(shù)量、格式	max10,000個、CSV格式
顯示語言		英文、日語
電源		AC100~240V
使用環(huán)境	本體	15~35℃、0~85%RH （無結露）
外形尺寸		W150 X H163 X D228 mm
重量		3.4kg

其他產品介紹：3715-06過濾效率測試臺塵埃粒子計數(shù)傳感器
采樣量：2.83L/min（0.1cfm）
6種粒徑同時測試（0.3、0.5、1.0、3.0、5.0、10.0μm）
max可測濃度可達2,000,000CNT/f t3
內置真空采樣泵及壓力傳感器，保證了傳感器流量（2.83L/min）的一致性、穩(wěn)定性
具有RS485、Modbus RTU通訊接口，方便與設備及系統(tǒng)集成

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